半導体製造装置製造業

主として半導体（半導体集積回路、半導体素子）の製造に利用されるマスク・レチクル製造装置、ウェーハプロセス（電子回路形成）装置、半導体チップ組立装置などの各種製造装置を製造する事業所をいう。主として設計用装置を製造する事業所は中分類 30［3031］に、検査用装置（電気計測器）を製造する事業所は中分類 29［2971］に、純水製造（酸化、拡散）装置製造業；ウェーハ露光装置製造業；ウェーハレジスト処理装置製造業；マスク・レチクル製造装置製造業；ウェーハ洗浄・乾燥装置製造業；ウェーハエッチング装置製造業；ウェーハイオン注入装置製造業；ウェーハ薄膜形成装置（CVD、スパッタリング、エピタキシャル成長）製造業；ウェーハ真空蒸着装置製造業；ウェーハダイシング装置製造業；チップボンディング装置製造業；チップモールディング装置製造業製造業［ 2535］；純水製造装置製造業［ 2652］；廃液処理装置製造業［ 2652］；ガス制御装置製造業（工業計器用） ［2972］；ロボット製造業［ 2694］；制御機器製造業（工業計器用） ［2972］；クリーンルーム装置製造業［ 2652］；検査・評価装置製造業（電気計測器用） ［ 2971］